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产品简介
产地 | 进口 | 类型 | 增量式球栅 |
---|---|---|---|
种类 | 光栅尺 |
heidenhain光栅315420-03;LB382C,315420-04
产品介绍
heidenhain光栅315420-03;LB382C,315420-04
(1)莫尔条纹的变化规律
两片光栅相对移过一个栅距,莫尔条纹移过一个条纹距离。由于光的衍射与干涉作用,莫尔条纹的变化规律近似正(余)弦函数,变化周期数与光栅相对位移的栅距数同步。
(2)放大作用
在两光栅栅线夹角较小的情况下,莫尔条纹宽度W和光栅栅距ω、栅线角θ之间有下列关系。式中,θ的单位为rad,W的单位为mm。由于倾角很小,sinθ很小,则
W=ω /θ
若ω =0.01mm,θ=0.01rad,则上式可得W=1,即光栅放大了100倍。
(3)均化误差作用
莫尔条纹是由若干光栅条纹共用形成,例如每毫米100线的光栅,10mm宽度的莫尔条纹就有1000条线纹,这样栅距之间的相邻误差就被平均化了,消除了由于栅距不均匀、断裂等造成的误差
heidenhain光栅315420-03;LB382C,315420-04
一种外差光栅位移测量装置,包括光源、读数头、光电接收模块和信号处理系统,光源用于产生两束重合、偏振正交且具有固定频差的偏振光;读数头用于接收两束偏振光,并分别入射到移动的测量光栅的表面生成分别包括偏振光分量与第二偏振光分量的+1级衍射光和‑1级衍射光,+1级衍射光和‑1级衍射光分别经读数头入射到光电接收模块;光电接收模块用于接收+1级衍射光的偏振光分量和第二偏振光分量及‑1级衍射光的偏振光分量和第二偏振光分量形成两路拍频信号;信号处理系统用于对两路拍频信号进行差分计算,实现测量光栅单次衍射4倍光学细分的位移测量