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探针式轮廓仪/三维形貌仪

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更新时间:2017-02-20 14:34:26浏览次数:1683

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产品简介

售后保修期 12个月 销售区域 全国,华东,华南,华北,华中,东北,西南,西北,港澳台,海外
NANOMAP 500LS轮廓仪/三维形貌仪,既有高精密度和准确度的局部(Local)SPM扫描,又具备大尺度和高测量速度;既可用来获得样品表面垂直分辨率高达0.05nm的三维形态和形貌,又可以定量地测量表面粗糙度及关键尺寸,诸如晶粒、膜厚、孔洞深度、长宽、线粗糙度、面粗糙度等,并计算关键部位的面积和体积等参数。样件无须专门处理,在高速扫描状态下测量轮廓范围可以从1nm 到10mm。该仪器的应用领

详细介绍

NANOMAP 500LS轮廓仪/三维形貌仪技术特点

  • 常规的接触式轮廓仪和扫描探针显微镜技术的*结合。

  • 双模式操作(针尖扫描和样品台扫描),即使在长程测量时也可以得到*化的小区域三维测图。

  • 针尖扫描采用精确的压电陶瓷驱动扫描模式,三维扫描范围从10μm X 10μm 到500μm X 500μm。样品台扫描使用高级别光学参考平台能使长程扫描范围到50mm。

  • 在扫描过程中结合彩色光学照相机可对样品直接观察。

  • 针尖扫描采用双光学传感器,同时拥有宽阔测量动态范围(zui大至500μm)及亚纳米级垂直分辨率 (zui小0.1nm )

  • 软件设置恒定微力接触。

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