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详细介绍
用于FPD行业Mask case自动化搬送、存储，与曝光机对接。优化结构及气流流场设计，可使洁净度达到ISO Class4等级要求；带有丰富的安全设计和灵敏的碰撞保护功能，有效保护Cassette、人身安全, 提高了产品的安全等级,减少不必要的损失；高刚度、高可靠性设计，保护贵重Mask；标准的SEMI软件接口，可以方便对接面板厂MCS系统，可实时上报系统各种状态数据，实现工厂智能管理；可以根据客户应用的特殊要求，定制设备功能及尺寸。
参数：
设备 | Stocker Crane | |
运动轴 | 行走 / 提升/ 旋转/ 叉取 | |
有效负载 | 240kg | |
控制 | PLC | |
电源供应 | HID (CPS)+ECO | |
电机 | 伺服电机 | |
行走 | 速度 | 66m/min |
提升 | 速度 | 40m/min |
旋转 | 速度 | 180°/6s |
叉取 | 上/下料时间 | 11s |
叉取卡夹精度 | ±2mm | |
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