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详细介绍
用于FPD行业Glass Cassette自动化搬送、存储，实现Glass在曝光、刻蚀等核心工艺之间流转。优化结构及气流流场设计，可使洁净度达到ISO Class4等级要求；带有丰富的安全设计和灵敏的碰撞保护功能，有效保护Cassette、人身安全, 提高了产品的安全等级,减少不必要的损失；全新的系统运动逻辑规划，提高产品搬送效率；标准的SEMI软件接口，可以方便对接面板厂MCS系统，可实时上报系统各种状态数据，实现工厂智能管理；可以根据客户应用的特殊要求，定制设备功能及尺寸。
参数：
设备 | STK Crane | |
运动轴 | 行走 / 提升/ 旋转/ 叉取 | |
有效负载 | 150kg | |
控制 | PLC | |
电源供应 | HID (CPS)+ECO | |
电机 | 伺服电机 | |
行走 | 速度 | 180m/min |
提升 | 速度 | 50m/min |
旋转 | 速度 | 180°/6s |
叉取 | 上/下料时间 | 9s |
叉取卡夹精度 | ±2mm | |
设备 | OHCV | |
移动轴 | 升降/行走/旋转 | |
有效载荷 | 150kg | |
行走 | 速度 | Cableveyor Type : 60m/min |
升降 | 速度 | Max. 3.3m/min |
旋转 | 速度 | 180°/6sec |
精度 | Traveling & Hoisting ：±2mm Turning: ±0.2° | |
供电 | Cable Conveyor ≤10 m (Stroke) | |
定位方式 | 条码 | |
设备 | Bay | |
移动轴 | 行走/横移 | |
有效载荷 | 150kg | |
行走 | 速度 | 180m/min |
横移 | 速度 | Max 22m/min |
精度 | Traveling ：±2mm | |
供电 | HID +ECO | |
定位方式 | 条码 | |
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