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详细介绍
用于IC行业FOUP自动化搬送、存储，实现晶圆在曝光、刻蚀等核心工艺之间流转。优化结构及气流流场设计，可使洁净度达到ISO Class4等级要求；带有丰富的安全设计和灵敏的碰撞保护功能，有效保护FOUP、晶圆、人身安全, 提高了产品的安全等级,减少不必要的损失；全新的系统运动逻辑规划，提高产品搬送效率；标准的SEMI软件接口，可以方便对接面板厂MCS系统，可实时上报系统各种状态数据，实现工厂智能管理；可以根据客户应用的特殊要求，定制设备功能及尺寸。
参数：
设备 | IC Stocker | |
运动轴 | 行走 / 提升/ 旋转/ 叉取 | |
有效负载 | 10kg | |
控制 | PLC+PC | |
电源供应 | VAC 220V±10% | |
电机 | 伺服电机 | |
行走 | 驱动 | 齿轮齿条+减速机+电机 |
速度 | 2.2m/s | |
提升 | 驱动 | 电机减速机+同步带+带轮 |
速度 | 1.75m/s | |
旋转 | 驱动 | 电机+同步带+减速机 |
速度 | 120°/sec | |
叉取 | 驱动 | 电机减速机+同步带+带轮 |
上/下料时间 | 4.8s | |
叉取FOUP精度 | ±0.5mm | |
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