超精密金刚石锥体数控车床

主要结构与配置：
　● 机床轴系采用外置式伺服电机直驱形式，主轴为空气静压结构，主轴转速为4000r/min；
　● X轴导轨采用高精度气浮导轨副，高精度滚珠丝杠副传动；
　● Z轴采用进口直线导轨，高精度滚珠丝杠副传动；
　● 切屑冷却采用喷射油雾冷却形式。
　● 数控系统采用FANUC系统，分辨率0.1µm
 

主要技术指标：
　(1) X轴（主位移轴，与主轴成45°角）
　　zui大行程： 150mm
　　直 线 度： 距主轴线10mm内0.05μm/10mm
　　在其他范围： 0.1μm/10mm
　　定位精度： 3μm
　　重复定位精度： 1μm
　　分辨率： 0.1微米
　(2) Z轴（与主位移轴正交）
　　zui大行程: 100mm
　　直线度： 2μm/100mm
　　定位精度： 3μm
　　重复定位精度: 1μm
　　分辨率： 0.1微米
　　移动速度： 3m/min
　(3) 主轴（工件轴）
　　高精度气浮轴承直径： 大于50mm
　　转速： 100-4000转/分钟
　　径跳和端跳： 小于0.3微米（2000转/分钟时）
　　zui大切削力： 小于1000公斤/平方米
　　移动速度： 3m/min