详细介绍
机床设计特点
● PA开放式操作系统;
● 天然花岗岩基座,保证机床*稳定性;
● 超精密高刚性空气静压主轴;
● 超精密液体静压导轨,具有较好的刚性和阻尼性;
● X/Z轴均采用直线电机驱动,全闭环控制;
● 气浮支承隔振系统zui大的减少外界振动干扰;
主要技术指标:
(1)Z轴
zui大行程: 210mm
直线度: 0.2μm/100mm
定位精度 0.5μm±0.5μm×Lmm/100mm
重复定位精度: 0.3μm
分辨率: 10nm
zui大进给速度: 20mm/s
(2)X轴
zui大行程: 210mm
直线度: 0.2μm/100mm
定位精度 0.5μm±0.5μm×Lmm/100mm
重复定位精度: 0.3μm
分辨率: 10nm
zui大进给速度: 20mm/s
(3)C轴
高精度气浮轴承回转精度 0.1μm
转速 0-3000rpm
转角定位精度 30″
转角重复性定位精度 10″