高精度测量激光干涉仪

中图仪器SJ6000高精度测量激光干涉仪采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现高4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率。

结合不同的光学镜组，SJ6000高精度测量激光干涉仪可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在动态测量软件配合下，还可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。

性能特点

1. 自动采集数据，避免人为读数误差，精度高；
2. 测量过程全自动化，效率高；
3. 可测量任意方向的回转轴，可测量任意角度间隔，通用性强；
4. 可自动生成误差曲线和补偿数据，根据不同标准自动计算定位精度结果，无需人工计算。

SJ6000激光干涉仪以干涉技术为核心，其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗扰力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热影响，保证干涉光路稳定可靠。具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点，以光波为载体，其光波波长可以直接对米进行定义，是高精度、高灵敏度测量仪器，广泛应用于精密机械设备、精密检测仪器、三坐标、机器人、3D打印设备、机床、自动化设备、线性位移平台等领域的线性测量。