3D轮廓测量仪

SuperViewW1中图3D轮廓测量仪以白光干涉技术为原理，主要用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量，通过利用接触式及非接触式双模式基于技术上的优势获得获得全面的表面特性。既可以用于科学研究，也可以用于工业产品的检测。

产品功能

1）设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；

2）测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；

3）测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；

4）分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；

5）分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；

6）分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。

应用领域

中图3D轮廓测量仪对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

轮廓分析步骤

1.将样品放置在载物台镜头下方；

2.检查电机连接和环境噪声，确认仪器状态；

3.使用操纵杆调节Z轴，找到样品表面干涉条纹；

4.微调XY轴，找到待测区域，并重新找到干涉条纹；

5.完成扫描设置和命名等操作；

6.点击开始测量（进入3D视图窗口旋转调整观察一会）；

7.台阶样品分析：校平；

8.进入数据处理界面，点击“校平"图标，和平面样品不同，台阶样品需手动选取基准区域，选好基准区域后，先“全部排除"再“包括"；

9.若样品表面有好几处区域均为平面且高度一致，可多选择几个区域作为基准面进行校平；

10.台阶高度测量：线台阶高度测量

11.进入分析工具界面，点击“台阶高度"图标，即可直接获取自动检测状态下的面台阶高度相关数据；

12.在右侧点击“手动检测"，根据需求选择合适的形状作为平面1和平面2的测量区域，数据栏可直接读取两个区域的面台阶高度数值；

13.台阶高度测量：线台阶高度测量

14.进入数据处理界面，点击“提取剖面"图标，使用合适方向的剖面线，提取目标位置的剖面轮廓曲线；

15.进入分析工具界面，点击“台阶高度"图标，由于所测为中间凹槽到两侧平面高度，因此点击右侧工具栏，测量条对数选择“2"，将红色基准线对放置到凹槽平面中间，两对测量线对分别放置在两侧平面，即可在数据缆读取台阶高度数据。