白光干涉仪精密测量表面三维形貌

SuperViewW1白光干涉仪精密测量表面三维形貌能够以优于纳米级的分辨率，测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数，广泛应用于光学，半导体，材料，精密机械等等领域。是一款非接触测量样品表面形貌的光学测量仪器。

优点

一是非接触高精密测量，不会划伤甚至破坏工件；
二是测量速度快，不必像探头逐点进行测量；
三是不必作探头半径补正，光点位置就是工件表面测量的位置；
四是对高深宽比的沟槽结构，可以快速而精确的得到理想的测量结果。

SuperViewW1白光干涉仪精密测量表面三维形貌的重建算法自动滤除样品表面噪点，在硬件系统的配合下，分辨率可达0.1nm。其双通道气浮隔振系统设计，既可以接入客户现场的稳定气源也可以采用便携加压装置直接加压充气，在无外接气源的条件下也可稳定工作，可以有效隔绝地面传导的振动，同时内部隔振系统能够有效隔绝声波振动，确保仪器在车间也能正常工作。

部分参数
Z向分辨率：0.1nm
横向分辨率(0.5λ/NA)：100X~2.5X：0.5um~3.7um
粗糙度RMS重复性：0.1nm
表面形貌重复性：0.1nm
台阶测量:重复性：0.1% 1σ；准确度：0.75%

在3C领域，SuperViewW1可以测量蓝宝石屏、滤光片、表壳等表面粗糙度；
在LED行业，SuperView W1可以测量蓝宝石、碳化硅衬底表面粗糙度；
在光纤通信行业，SuperView W1可以测量光纤端面缺陷和粗糙度；
在集成电路行业，SuperView W1可以测量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度；
在EMES行业，SuperView W1可以测量台阶高度和表面粗糙度；
在军事领域，SuperViewW1可以测量蓝宝石观察窗口表面粗糙度。

深圳市中图仪器股份有限公司致力于精密测量、计量检测等仪器设备的研发、生产和销售。历经了十多年的技术积累和发展实践，专业覆盖面广，专项技术能力强，具备了从纳米到百米为用户提供精密测量解决方案的能力。