中图激光干涉仪

中图SJ6000激光干涉仪以干涉技术为核心，其光波可直接对米进行定义。可实现对机床回转轴的测量与校准，可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据，还具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等，支持手动或自动进行环境补偿。

产品参数

技术指标

中图激光干涉仪主要应用于运动导轨的测量与校准，如数控机床、三坐标、机器人、3D打印设备、自动化设备、线性位移平台等域；也可用于教学和科研，如引力波探测、重力加速度试验、微观检测和纳米研究等。在检测机床精度域中，分为静态测量和动态测量：

【静态测量功能】

· 0~80m线性位移测量（包括线性定位精度、重复定位精度和反向间隙等）

· ±10°角度测量（包括角度定位精度、重复定位精度和反向间隙等，以及角摆，还可以衍生出平面度的测量）

· ±3mm直线度测量（包括横向和纵向的直线度，还可衍生出垂直度和平行度的测量）

【动态测量功能】

· 可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移分析、速度分析、加速度分析、振幅与频率的FFT分析。

· 典型应用有丝杆导轨的动态特性分析、振动分析、驱动系统的响应特性分析等。

产品特点

中图激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。

应用示例

测量机床回转轴精度

测量机床直线度

测量机床定位精度

数控机床精度校准

注意事项

1）对角线测量套装配置需求：对角线测量套装＋可调转向镜

2）平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组

3）平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可

4）短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组

5）长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组

6）直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量

此前，国产与国外的产品有着一定的差距，这导致国外产品一度垄断国内市场。SJ6000的上市将打破这一局面，大大降低企业的检测成本。中图仪器SJ6000以技术实力为依据，在测量精度、测量速度、测量类型等方面上达到进口品牌的水平，为用户提供了更多选择。