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详细介绍
Function 系列
三轴导轨均采用高精密天然花岗岩，具有相同的温度特性及刚性
三轴导轨均采用高精度自洁式空气轴承，运动更平稳，导轨*受磨损
单边驱动活动桥式结构，显著提高运动性能，确保测量精度及稳定性
Y轴采用整体燕尾式导轨，有效消除了运动扭摆，保证了测量精度及稳定性
欧洲开放式金属光栅尺，分辨率0.4 um
控制系统采用欧洲高速高精度自动控制系统，该系统内嵌32位微处理器，真正实现实时控制
三轴均采用大功率驱动器、电机及双级减速装置，确保传动迅速、准确
三轴导轨均采用高精度自洁式空气轴承，运动更平稳，导轨*受磨损
单边驱动活动桥式结构，显著提高运动性能，确保测量精度及稳定性
Y轴采用整体燕尾式导轨，有效消除了运动扭摆，保证了测量精度及稳定性
欧洲开放式金属光栅尺，分辨率0.4 um
控制系统采用欧洲高速高精度自动控制系统，该系统内嵌32位微处理器，真正实现实时控制
三轴均采用大功率驱动器、电机及双级减速装置，确保传动迅速、准确
| | 800 | 1000 | |||
| 机器型号 | F10128 | F121510 | F122010 | F122510 | F123010 |
| 行程 | 1000 | 1200 | 1200 | 1200 | 1200 |
| 1200 | 1500 | 2000 | 2500 | 3000 | |
| 800 | 1000 | 1000 | 1000 | 1000 | |
| 外形尺寸 | 2370 | 2820 | 3320 | 3820 | 4320 |
| 1694 | 1980 | 2100 | 2100 | 2100 | |
| 3150 | 3460 | 3750 | 3750 | 3750 | |
| 承重 | 1200 | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 |
| 机器重量 | 4000 | 5300 | 8500 | 10500 | 12500 |
| MPEe（μm） | 4 +L/300 | 5 +L/300 | 5 +L/300 | 7 +L/300 | 7 +L/300 |
| MPEp（μm） | 4.5 | 5.5 | 5.5 | 5.5 | 5.5 |
| 光栅尺分辨率（μm） | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 |
| 空间移动速度（mm/s） | 200 | 200 | 200 | 200 | 200 |
| 空间移动加速度（mm/S2） | 450 | 450 | 450 | 450 | 450 |
| 流量/供气压力（μm） | 150 NI/min. 0.45Mp | 150 NI/min. 0.45Mp | 150 NI/min. 0.45Mp | 150 NI/min. 0.45Mp | 150 NI/min. 0.45Mp |
| 温度 | 20±2℃ | 20±2℃ | 20±2℃ | 20±2℃ | 20±2℃ |
| 湿度 | 45%-75% | 45%-75% | 45%-75% | 45%-75% | 45%-75% |
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