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详细介绍
硅片平面抛光机特 点
1． 本系列研磨机的上、下研磨盘可进行自动修盘。
2． 采用四个电机同步拖动，变速范围更广，运动精度更高，响应速度更快，能适应不同研磨材料及研磨工艺的要求，实现了软启动、软停止，调速稳定，冲击小。
3． 修面机采用伺服马达驱动，能确保油压悬浮导轨滑动更加平稳，得到的平面修整效果非好。
4． 控制系统中采用DSP、Web-Link、彩色终端等*技术，系统的响应速度更快、更精确，并具有远程监控，远程维护功能；
5． 本系列研磨机有光栅厚度控制系统，加工后的产品厚度公差可控制在±0.002mm范围内。
硅片平面抛光机技术参数：
型 号 | SX-4B | SX-5B | SX-6B | SX--7BG | SX--9B |
研磨盘规格： | φ200×φ100×12t | φ300×φ120×12t | φ380×φ140×12t | φ510×φ200×12t | φ635×φ240×12t |
zui大加工工件尺寸 | φ60mm | φ100mm | φ130mm | φ165mm | φ200mm |
工件平面度（25mm） | ±0.1u以内 | ±0.1u以内 | ±0.1u以内 | ±0.1u以内 | ±0.2u以内 |
工件平行度（25mm） | ±0.2u以内 | ±0.2u以内 | ±0.2u以内 | ±0.2u以内 | ±0.4u以内 |
工件粗糙度（石英材料） | 0.4nm以内 | 0.4nm以内 | 0.4nm以内 | 0.4nm以内 | 0.4nm以内 |
研磨盘修面后平行度 | ±1u以内 | ±1u以内 | ±1u以内 | ±2u以内 | ±2u以内 |
游轮规格 | φ80mm | φ125mm | φ155mm | φ190mm | φ230mm |
游轮数量 | 5 枚 | 5 枚 | 5 枚 | 5 枚 | 5 枚 |
下研磨盘转速 | 0~180rpm | 0~180rpm | 0~180rpm | 0~140rpm | 0~140rpm |
下研磨盘电机功率 | 0.4kw 3相380V | 0.4kw 3相380V | 0.75kw 3相380V | 1.5kw 3相380V | 2.2kw 3相380V |
上研磨盘研磨转速 | 0~60rpm | 0~60rpm | 0~60rpm | 0~60rpm | 0~60rpm |
上研磨盘电机功率 | 0.2kw 3相380V | 0.2kw 3相380V | 0.4kw 3相380V | 0.75kw 3相380V | 1.5kw 3相380V |
上研磨盘修面转速 | 0~180rpm | 0~180rpm | 0~180rpm | 0~140rpm | 0~140rpm |
上研磨盘修面电机功率 | 0.2kw 3相380V | 0.2kw 3相380V | 0.4kw 3相380V | 0.4kw 3相380V | 0.75kw 3相380V |
太阳轮转速 | 0~60rpm | 0~60rpm | 0~60rpm | 0~60rpm | 0~60rpm |
太阳轮电机功率 | 0.2kw 3相380V | 0.2kw 3相380V | 0.4kw 3相380V | 0.4kw 3相380V | 0.75kw 3相380V |
外齿轮转速 | 0~30rpm | 0~30rpm | 0~30rpm | 0~30rpm | 0~30rpm |
外齿轮电机功率 | 0.2kw 3相380V | 0.2kw 3相380V | 0.4kw 3相380V | 0.4kw 3相380V | 0.75kw 3相380V |
修面机速度 | 200mm/分钟 | 200mm/分钟 | 200mm/分钟 | 200mm/分钟 | 200mm/分钟 |
修面机伺服马达功率 | 750w | 750w | 750w | 750w | 750w |
外形尺寸： | 680×1000×2100mm | 740×1100×2200mm | 800×1200×2300mm | 1000×1450×2400mm | 1200×16150×2400mm |
重量： | 760kg | 850kg | 1100kg | 1600kg | 2300kg |
如有任何业务问题请登陆咨询： http:///; http:/// ; http:/// ; http:/// ： 吴。
工作原理：
1．本系列研磨机为超高精密研磨设备，上、下研磨盘作相反方向转动，工件在载体内作既公转又自转的游星运动。磨削阻力小不损伤工件，而且两面均匀磨削生产效率高。
2．本系列研磨机修整机构采用油压悬浮导轨前后往复运动，金刚石修面刀给研磨盘的研磨面进行平面修整。
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