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石英玻璃如何切出斜面角度

2019-10-26  阅读(1112)

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近期国内一家生产石英玻璃的公司在晨虹数控做了切割460x460mm石英玻璃切割实验,做了斜面角度5.05°和3mm薄板切割,检验结果如下:

 切割顺序是

  1. 先切割上面小边为2mm,斜面角度为5.05°夹角整块料;
  2. 第二刀切割上面块3mm薄板;
  3. 第三刀切割下面第二块3mm薄板;
  4. 自然形成下面斜度板料。

从上面切割顺序可以知道:

刀切割时材料为整块料,材料刚性好,切割后应力释放小,切割中变形小,故切割后平面度好,测量结果与材料刚性变形吻合,结果为:0.195mm。

第二刀切割3mm薄片:在半导体行业的业内人员知道,切割晶体薄片时有翘曲度指标,因为人造晶体在形成过程中存在内应力,想*消除很难。故此衡量切割质量有翘曲度检验指标,被切割材料厚度与表面积比越大,翘曲度越大。当表面积过大而要求厚度较薄时在切割过程中随着应力的释放,材料出现翘曲(弯曲),该翘曲的方向不可控!故在大面积超薄切割后表面积平面度下降非常明显。

我公司该款机床采用我公司发明技术:

切割效果如下图:

注:3mm薄片没有单独拍照,因为材料尺寸较大,3mm太薄了,师傅切好后已经把它小心放入箱内,材料较贵,不敢来回折腾,万一坏了赔不起。感兴趣的客户可以查看公司原来的技术文章。

 

 

 

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