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详细介绍
真空预压气浮轴承
new way 真空预压气浮轴承结合使用气压及真空，从导轨上浮起并同时吸附在导轨面上。可通过分别对真空及压力进行调节达到优化真空预*承的浮动高度及刚性的效果。
应用简单
new way 使气浮轴承的应用变得十分简单。柔性安装支架带来双向刚性，底支点，及对new way的极小的角度调整。
应用
1.晶圆定位
2.晶圆探测（高速）
3.晶圆凸点技术（高速）
4.自动光学检测
5.精确校对
6.成像景深调节
7.垂直度调节
8.测试及修复
市场
1.半导体
2.测试及测量
3．光学
4.平板印刷
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