SX-6B-双面研磨机,获-深圳市方达研磨技术有限公司

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产品简介

高精密可修面双面研磨机

主要用途：

该机主要用于硅片、砷化镓片、陶瓷片、石英晶体、光电玻璃及其他硬脆材料的双面高精度研磨、抛光。

详细介绍

高精密可修面双面研磨机

主要用途：

该机主要用于硅片、砷化镓片、陶瓷片、石英晶体、光电玻璃及其他硬脆材料的双面高精度研磨、抛光。

工作原理：

2．本系列双面研磨机为超高精密研磨设备，上、下研磨盘作相反方向转动，工件在载体内作既公转又自转的游星运动。磨削阻力小不损伤工件，而且两面均匀磨削生产效率高。

2．本系列双面研磨机修整机构采用油压悬浮导轨前后往复运动，金刚石修面刀给研磨盘的研磨面进行平面修整。

特点

1．本系列双面研磨机的上、下研磨盘可进行自动修盘。

2．采用四个电机同步拖动，变速范围更广，运动精度更高，响应速度更快，能适应不同研磨材料及研磨工艺的要求，实现了软启动、软停止，调速稳定，冲击小。

3．修面机采用伺服马达驱动，能确保油压悬浮导轨滑动更加平稳，得到的平面修整效果非好。

4．控制系统中采用DSP、Web-Link、彩色终端等*技术，系统的响应速度更快、更精确，并具有远程监控，远程维护功能；

5．本系列双面研磨机有光栅厚度控制系统，加工后的产品厚度公差可控制在±0.002mm范围内。

技术参数：

型号	SX-4B	SX-5B	SX-6B	SX--7BG	SX--9B
研磨盘规格：	φ200×φ100×12t	φ300×φ120×12t	φ380×φ140×12t	φ510×φ200×12t	φ635×φ240×12t
zui大加工工件尺寸	φ60mm	φ100mm	φ130mm	φ165mm	φ200mm
工件平面度（25mm）	±0.1u以内	±0.1u以内	±0.1u以内	±0.1u以内	±0.2u以内
工件平行度（25mm）	±0.2u以内	±0.2u以内	±0.2u以内	±0.2u以内	±0.4u以内
工件粗糙度（石英材料）	0.4nm以内	0.4nm以内	0.4nm以内	0.4nm以内	0.4nm以内
研磨盘修面后平行度	±1u以内	±1u以内	±1u以内	±2u以内	±2u以内
游轮规格	φ80mm	φ125mm	φ155mm	φ190mm	φ230mm
游轮数量	5 枚	5 枚	5 枚	5 枚	5 枚
下研磨盘转速	0~180rpm	0~180rpm	0~180rpm	0~140rpm	0~140rpm
下研磨盘电机功率	0.4kw 3相380V	0.4kw 3相380V	0.75kw 3相380V	1.5kw 3相380V	2.2kw 3相380V
上研磨盘研磨转速	0~60rpm	0~60rpm	0~60rpm	0~60rpm	0~60rpm
上研磨盘电机功率	0.2kw 3相380V	0.2kw 3相380V	0.4kw 3相380V	0.75kw 3相380V	1.5kw 3相380V
上研磨盘修面转速	0~180rpm	0~180rpm	0~180rpm	0~140rpm	0~140rpm
上研磨盘修面电机功率	0.2kw 3相380V	0.2kw 3相380V	0.4kw 3相380V	0.4kw 3相380V	0.75kw 3相380V
太阳轮转速	0~60rpm	0~60rpm	0~60rpm	0~60rpm	0~60rpm
太阳轮电机功率	0.2kw 3相380V	0.2kw 3相380V	0.4kw 3相380V	0.4kw 3相380V	0.75kw 3相380V
外齿轮转速	0~30rpm	0~30rpm	0~30rpm	0~30rpm	0~30rpm
外齿轮电机功率	0.2kw 3相380V	0.2kw 3相380V	0.4kw 3相380V	0.4kw 3相380V	0.75kw 3相380V
修面机速度	200mm/分钟	200mm/分钟	200mm/分钟	200mm/分钟	200mm/分钟
修面机伺服马达功率	750w	750w	750w	750w	750w
外形尺寸：	680×1000×2100mm	740×1100×2200mm	800×1200×2300mm	1000×1450×2400mm	1200×16150×2400mm
重量：	760kg	850kg	1100kg	1600kg	2300kg