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详细介绍
FD-9104PA硅片抛光机
主要用途：
广泛用于多种尺寸的硅片的单面抛光及镜面抛光。
设备参数：
抛光盘尺寸 | Φ910mm |
工作工位 | 4组 |
陶瓷吸盘直径 | Φ400mm |
加压方式 | 气缸加压 |
主电机功率 | 7.5KW/380V |
工件盘驱动功率 | 0.4KW/380V |
工作气压 | 0.4-0.6MPa |
工件盘转速 | 5-40RPM |
抛光盘转速 | 10-80RPM |
加工粗糙度 | Ra:0.0002 |
设备总重量 | 2300kg |
外型尺寸（L*W*H） | 1650*1200*2300mm |
该陶瓷抛光机抛光后的效果：
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