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复合中心的原理和缺陷

阅读:612          发布时间:2014-12-19
 
通过复合中心的复合是一种间接复合过程,这种复合过程是决定Si、Ge等间接能带结构半导体中少数载流子寿命的基本过程。而复合中心杂质往往都是一些原子半径较小的金属元素,很容易进入半导体中去;故为了保证少数载流子具有足够长的寿命,就应该在制作器件的工艺过程中特别注意清洁度,以确保不让复合中心杂质造成污染。
半导体表面本身就是一种大缺陷,故半导体器件和集成电路在制作好之后,需要对器表面进行很好的保护处理,以减弱表面复合中心的影响,这实际上也就是所谓表面钝化技术的主要目的之一。
复合中心所引起的间接复合过程,通常要比导带与价带之间的直接复合过程慢得多,这是由于复合过程既需要满足能量守恒、也需要满足动量守恒的缘故。对于直接能带半导体(如GaAs),其少数载流子寿命主要决定于直接复合过程,所以这种半导体的少数载流子寿命本来就很短。而Si、Ge等中少数载流子的直接复合寿命较长(因为导带底与价带顶不在Brillouin区的相同点上),则寿命主要决定于间接复合过程,故与复合中心浓度的关系很大。
 
 
 
 
 

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