仅用低排气零件生产的高真空环境定位传感器。 在真空蒸镀装置、溅镀装置内的晶片、掩膜定位用途中，广泛为大型半导体生产设备制造商所采用。

机型一览

代表型号名称	动作形态	电线方向	下载
GN-PT5M3A	A : NO	直型	产品目录 （PDF）	2D CAD
GN-PT5M3B	B : NC
GN-PT5M3A-R	A : NO	直角(-R)
GN-PT5M3B-R	B : NC

电气规格｜ 选购件／使用注意事项｜ 技术指南

主要规格

接点构造	接点型
动作形态	A : NO /B：NC
动作点的重复精度	ON⇄OFF均为0.003mm（范围）常温使用时的数值
适用真空度／容许烘焙温度	10-5Pa　／　120℃
预行程	无（请用信号的切换点调整传感器的安装位置）
迟滞	0
机械寿命	300万次
行程	1.5mm
接触力	0.5N
接点额定值	DC5V～DC24V　稳态电流10mA以下（冲击电流20mA以下）

应用

真空室

检测有无半导体晶片

真空制膜装置

玻璃基板的定位确认

太阳能发电（PV）真空装置

玻璃基板的定位确认

FPD真空制膜装置

玻璃基板的对准

FPD真空制膜装置

掩膜托盘的就位检测

FPD真空制膜装置

载体的起动确认

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