光学式表面粗糙度轮廓形貌仪（型号Proscan 2000，英Scantron生产，*）

产品功能

    对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、共面性、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、蚀刻情况、弯曲变形情况、加工情况、材料支撑率等表面形貌特征进行测量和分析。被测物体的尺寸通常不大于150*100mm，更大尺寸的测量系统可以定做；工作台zui大承载重量40Kg。

    产品广泛应用于汽车工业、航空航天、造纸工业、钢铁工业、薄膜加工、半导体加工、MEMS等行业。

应用范围

* 机械密封的平面度和粗糙度测量；

* 电子元件表面的平面度、翘曲度和粗糙度测量分析；

* BGA焊料球的共面性、封装是否变形以及所有的焊料球是否都存在的检查分析；

* 造纸行业对纸张表面的纹理分析；

* 膜片的厚度及涂层的高度测量等；

* 化学蚀刻产品的蚀刻深度和面积测量；

* 压花材料表面特征分析，如合成材料人造皮革表面形貌测量分析；

* 丝印装置涂层厚度测量，如电子产品和生物医疗器械等；

* 轧制铝膜和钢板表面情况进行三维分析；

* 法医学上三维表面形貌测量分析；

* 压电陶瓷部件的轮廓和表面形貌特征测量分析；

* 牙齿的腐蚀和磨损情况分析；

* 医学上如人造皮肤的轮廓分析；

* 沟槽深度和截面计算分析；

* 激光蚀刻表面的雕刻深度测量；

* 各种柔软材料、易腐蚀材料、传统接触方式无法检测的产品的表面形态测量和分析；

* 其他各种小型部件的平面度、粗糙度、波纹度和轮廓测量分析。

产品介绍

    英国Scantron Industrial Products Ltd公司生产的Proscan 2000光学式表面粗糙度轮廓形貌仪，采用非接触式传感器扫描技术，用于对各种产品和部件的表面形貌特征进行测量和分析，它比传统的探针式轮廓仪操作更方便，测量精度更高。由于采用非接触无损的测量方式，避免了对被测物体造成划痕和磨损，尤其适用于各种柔软材料、易腐蚀材料和传统方式无法检测的表面形态测量和分析。

    Proscan 2000光学式表面粗糙度轮廓形貌仪zui大扫描速度可达到80mm/秒，每秒2000个数据点，每行可扫描20000个独立的数据点，垂直测量分辨率zui高可达到5nm，zui小测量范围0-110μm，zui大测量范围0-50mm。

    Proscan 2000以花岗岩为工作平台，是快速、精准、非接触式的三维表面形态测量仪器。广泛应用于各种表面轮廓和形貌特征精确测量分析的场合。高性能非接触式光学传感器扫面范围是150mm（长）X100mm（宽），使用色差传感器，每秒可测量1000个数据点，使用三角激光传感器每秒可测量10000个数据点，对被测件平面的扫描点数zui多可达576万个数据点。配套软件可以对各种测量参数进行分析。

产品特点

* 花岗岩框架结构，受热胀冷缩影响非常小，基本没有振动。

* 配套软件可以以二维或三维的方式对数据进行形貌分析。

* 数据分析结果方便导出，导出格式有ASCII、ZZZZ...LF及XYZLF...CR’a’等。

* 数据分析也可选择二维X-Y平面视图，还具有三点平面修正和自动水平功能。

评定参数

Am               轮廓算术平均值

Ra               轮廓算术平均偏差

Rz（DIN）        峰谷高低平均值

Rz（ISO）        微观不平度十点高度

Rmax             轮廓zui大高度

Rp               平均轮廓波峰高度

Rq               粗糙度均值平均方根

Rpm              峰值高度zui大值

Rvm              谷值深度zui大值

R3z              算术平均第三峰谷间高度

Wt               波形深度总值

Pt               轮廓深度总值

Nr               峰值计数归一

Tpa              材料支撑率（宏）

D                峰值密度

S                轮廓单峰平均间距

Sm               轮廓微观不平度平均间距

Lm               取样长度

共面性

Warpage滤波器，过滤表面粗糙度数据，而仅保留轮廓数据

Surface滤波器，过滤表面轮廓数据，而仅保留粗糙度数据

对单点进行编辑

在X和（或）Y轴上进行插值

半径计算

体积计算

表面积计算

截面积计算

三维轮廓显示

技术规范

传感器选型方案

各种可选项

* 照明与定位摄像头，用于小型部件的定位和缺陷检查；

* 其他各种传感器；

* 仿制材料，用于对不容易进入的区域和对表面测量有困难的场合；

* 比标准的X和Y行程范围更大的测量平台。 

产品尺寸图

应用举例

一、电子元件的形貌检查

电子元件的原貌

对单个BGA的扫描结果

    *检测BGA（包括穴距）和倒装芯片的包装情况，自动分析共面性、球面高度、球的位置和包装扭曲情况；分析丝焊高度和轮廓；亚微米级分辨率，三维图形显示平均、zui大和zui小深度。

二、部件表面粗糙度测量

被测部件原貌

扫描后的结果分析

    精确分析被测部件的表面纹理、波面度和形态特征，符合ISO和DIN的粗糙度参数分析标准，包括Ra、Rz、Rmax、Rq、Rvm、Rpm、Pt、Nr、D、Sm、Wt和Tpa等。可测量出平面度、表面积、体积、承载比和部件的精确尺寸。

三、纸张类表面的纹理分析

扫描前的产品原貌

扫描后的分析图

    对板材类、纸张类产品的表面进行纹理和形貌特征分析，自动计算各种表面分析的参数，如Ra、Rz、Rmax、Rvm、Rpm、Sm和材料比等，测量速度快，结果准确，操作简单。

视频资料

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样本下载

光学式表面粗糙度轮廓形貌仪2000.pdf

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