详细介绍
规格参数:
坐标测量行程: X向行程:200㎜ Y向行程:100㎜
X、Y坐标测量分辨率: 0.0002㎜
仪器准确度: (1+L/100)μm,其中L为测量长度,单位:㎜
测角目分辨率: 1′
分度头角度测量分辨率: 1′
分度头角度测量准确度: 30″
主显微镜立柱的倾斜范围: ±12°
方工作台承放工件zui大高度: 140mm
顶针架夹持zui大直径和长度: φ100㎜ 长700mm
高顶针架夹持zui大直径和长度: φ250㎜ 长200mm
物镜放大率,工作距离及视场直径:
物镜放大率 | 总放大率 | 工作距离(㎜) | 视场直径(㎜) |
1× | 10× | ≈79 | ≈φ20 |
3× | 30× | ≈69 | ≈φ6.7 |
5× | 50× | ≈49 | ≈φ4 |
光学定位器的主要技术参数:
光学定位器zui小探测孔径: φ5
光学定位器zui大探测深度: 15mm
仪器承受工件zui大重量: 40kg
仪器主机外形尺寸(㎜): 长×宽×高=1300×1250×800
仪器主机重量: 450㎏