半导体设备真空腔体密封面解决方案
【机床商务网栏目 科技动态】之前,我们分别介绍了牧野Smart Tool的Super Hale 和 Synchro Spinner加工功能在半导体设备真空腔体密封面的加工中的应用。
本期我们介绍其中的另一项黑科技:
Belt Track Finisher (带式磨削) 加工装置。
Belt Track Finisher (带式磨削)加工装置是实现超真空面密封无研磨加工的另一项场景应用,是加工中心直接将真空装置的密封面加工成高品质量,实现其表面实现超高真空密封效果的可行性方案之一。
Belt Track Finisher (带式磨削)加工装置:
传统的加工方式,由于刀具旋转会产生从内侧到外侧的切削痕迹。
真空密封面中氦气沿着切削痕迹泄漏,无法维持真空。
为了保持高真空状态,必须进行研磨作业。
带式磨削精加工装置,研磨纹理可以跟工具前进方向平行运动,没有从内侧到外侧的切削痕迹,因此真空面没有泄露。
加工特点
・沿工具前进方向平行的研磨纹理
・没有真空泄露方向的切削痕迹
关键技术
・新开发的接触轮,提高研磨效率
・带式磨削工艺,不留切削痕迹
・更换砂带简单,自动调整张力
・无需气管、电线。可使用 ATC,实现连续加工
・选择不同的砂带宽度和颗粒度,可以加工多种材料
加工案例
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