SHINKO神港精机SST200真空泵
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二，薄膜成型设备
1，多室型溅射成型设备。STM5412，STM5213，STM4415
2，负载锁定型溅射成型设备。STL5321，STL5111，STL5311
3，批量型溅射成型设备。SRV4310，SRV6310，SRV7310
4，在线型溅射成型设备。
5，卷取式溅射成型设备。SDR系列
6，超高真空溅射设备设备。STM2323
7，研发用溅射成型设备。SRL3320，SDL4320，STL5520
8，标准气相沉积设备。AMF-C850SPB，AMF-C1065SPB，AMF-C1275SPB，AMF-C2280SPB
9，气相沉积设备。AAMF-C1065SBR，AAMF-C2265SBR
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