超精密静压研磨机的特点:
通过采用技术要素,实现了工件形状精度、尺寸精度、表面精度等0.1μm的世界。
由于磨削台固定,磨削砂轮·调整车滑动可动型,台阶更换,供给装置·排出装置的简化成为可能。
■根据磨削砂轮修正装置的遍历型旋转礼服方式的采用使砂轮表面高精度化。(※可选)
●静止轴轮头
●调整磨刀石修正装置带有自动修正功能。(※可选)
●磨削砂轮滑动通过V-V引导功能和全封闭控制实现高精度定位。(※可选)
●小径用超精密磨削适合的机械构造。
超精密静压研磨机的参数:
研削能力 | 工作物直径 | ~Φ10mm |
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最大インフィード幅 | 148mm | |
研削砥石 | 寸法 | Φ355×150×Φ177.8mm |
周速 | 2,700m/min(2,420r/min) | |
モータ容量 | 3.7kW | |
軸受 | 静圧軸ホイールヘッド | |
調整砥石 | 寸法 | Φ205×150×Φ101.6mm |
回転数 | ~300r/min(60Hz) | |
モータ容量 | 0.5kW | |
軸受 | 静圧軸ホイールヘッド | |
砥石修正:研削砥石側 | 方式 | ※トラバースロータリ |
トラバース駆動 | ※ACサーボモータ | |
切込駆動 | ※ACサーボモータ | |
倣い方式 | テンプレート | |
砥石修正:調整砥石側 | 方式 | ポイントトラバース |
トラバース駆動 | ※ACサーボモータ | |
切込駆動 | ※ACサーボモータ | |
倣い方式 | テンプレート | |
送り機構 | 研削砥石スライド | すべり案内(V-V) |
駆動方式 | ACサーボモータ | |
最小設定単位 | 0.1μm | |
調整砥石スライド | すべり案内 | |
駆動方式 | マイクロハンドル | |
最小設定単位 | 0.02mm/div | |
本体質量 | 3,200kg |