施耐博格滑台NK1-45 NK1-65半导体设备用
可控制由于热引起的机床变形,立柱和横梁采用花岗岩制成。砂轮横向位移滑座置于固定的横梁上、安装砂轮架的垂直运动拖板置于横向位移滑座上。横向位移和垂直运动均采用SIEMENS伺服电机直接驱动高精度滚珠丝杠来完成,HEIDENHAIN光栅位置反馈。横向位移滑座以及垂直运动拖板的导轨同样采用的是液体静压导轨。另外在垂直运动拖板上配备了微量进给机构,可以实现砂轮架0.1 μm的微进给。为了减少砂轮架滑座自重及其横向位移引起的横梁变形,在横梁的正上方设置了卸荷装置(卸荷横梁)。用以承担砂轮架滑座的大部分自重,并且通过HEIDENHAIN光栅位置反馈实现卸荷装置与砂轮横向位移滑座的运动同步
施耐博格滑台NK1-45 NK1-65半导体设备用
天津福业动力机械科技发展有限公司
① 机床采用整体式龙门结构,立柱安装于底座,VERTITURN 1-2 为单立柱,3-6 为双立柱。② 工作台旋转实现车削主轴和铣削C轴的功能。③ 横梁在立柱上升降形成W轴,横梁可以锁定在W轴行程中的任意位置。④ 横梁上安装十字滑板和滑枕单元形成横向纵向X轴&Z轴运动。⑤ 龙门移动实现Y轴功能