MEMS 光衰减器
产品特性
● 高可靠性
● 高稳定性
● 低插入损耗
● 反应迅速
● 体积小
用途
● 传输光功率高
● 光路功率平衡；
● 信道传输均衡；
● 光自动增益调节
● 光接收机的保护
● 光路通断
VOA的优势、类型
MEMS Shutter型VOA
MEMS微镜型VOA
MEMS微镜型VOA中的WDL问题
MEMS微镜型VOA的WDL优化
MEMS（Micro Electro Mechanical System，微机电系统）技术被广泛应用于光纤通信系统中，MEMS技术与光学技术的结合，通常称作MOEMS技术。常用的MOEMS器件包括光衰减器VOA、光开关OS、可调光学滤波器TOF、动态增益均衡器DGE、波长选择开关WSS和矩阵光开关OXC。
VOA在光纤通信系统中常用于光功率均衡，在各种技术方案中，MEMS VOA具有尺寸小、成本低和易于制造的优势。的MEMS VOA有两类：MEMS Shutter型和MEMS微镜型，前者通常以热效应驱动，后者通常以静电力驱动。
MEMS Shutter型VOA
基于MEMS Shutter的VOA结构如图1所示，MEMS Shutter被插入两根光纤之间的光路，衰减量取决于被阻挡的光束截面大小。在实际应用中，这种VOA也可以设计成反射型。
