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TTS-4000 EFEM(4工位EFEM)

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具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称沈阳新松机器人自动化股份有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地
  • 厂商性质生产厂家
  • 更新时间 2021-09-10
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      沈阳新松机器人自动化股份有限公司(以下简称“新松”)隶属*,是一家以机器人技术为核心,致力于数字化智能制造装备的高科技上市企业,是机器人产品线Z全的厂商之一,在沈阳、上海、杭州、青岛建有机器人产业园,在北京、深圳等城市设立多家控股子公司,在上海建有新松总部。新松现拥有1600余人的研发创新团队,形成以自主核心技术、核心零部件、产品及行业系统解决方案为一体的完整产业价值链,并将产业战略提升到涵盖产品全生命周期的数字化、智能化制造全过程。
 
       新松始终以超前的技术和*的软硬件综合实力,一直中国机器人产业发展。主导业务涵盖机器人核心零部件、系列机器人产品、行业系统解决方案、工业4.0等四大业务板块:新松机器人产品线包括工业机器人、移动机器人、洁净机器人、特种机器人和服务机器人五大类80余种机器人产品。其中,工业机器人产品性能达到同类产品技术水平;洁净机器人是国内的产品和解决方案供应商,*打破被日本、韩国、欧美国家等发达国家垄断的局面,大量替代进口;移动机器人占据国内汽车市场、电力*90%以上,产品批量出口国外;服务机器人成为公司新经济增长点。为了让用户能够享受到更便捷与更全面的智能化服务,通过创新的软硬一体化技术的整合应用,新松数字化工厂业已打造成为中国数字化工厂领域。公司的产品已出口23个发达国家及地区,三分之二以上客户为外资企业,创造了中国机器人应用*的新时代。

       面对新一轮竞争,新松已经开始实施 “四轮驱动”战略,从内涵式增长转向"内生 外延"式发展,在产业链的纵向布局和并购重组的横向扩张两方面同时发力。着力构建 "2+N+M"模式,在全国设立N个区域性公司,下面再建立不同的子公司,完善网络化市场服务格局。

       面向未来,公司以工业 4.0 和"中国制造 2025"为契机,继续完善产业布局,调整组织架构,强化创新能力,全面提升公司在智能制造领域的综合实力,为公司集团化发展提供强劲动力。作为中国较大的产业化基地,新松建立了大平台战略,即创新平台,产业平台,金融平台。集技术创新、资本、人才于一体,保持企业的可持续发展。公司将“智慧新松,无限价值”的核心理念为驱动,践行着“推动产业进步、保障国防安全、提升生活品质”的神圣使命。新松将一如既往地保持着创新的精神,不断以新的高品质产品服务于用户,推动中国机器人产业的发展。新松愿同社会各界共同携手,满怀科技报国的热情,不断实现着新的梦想。

工业机器人,洁净机器人,智能物流装备,,激光装备,智能服务型机器人,自动化装配检测生产线,节能环保装备
一体化程度高,自动化程度高,安全区保护,SEMI认证S2、F47,网络化控制器,接口可用户定制。
TTS-4000 EFEM(4工位EFEM) 产品信息

新松一直致力于提供半导体晶圆加工和其他复杂的制造环境所需的高性能、超洁净和久经考验的可靠性。该四工位EFEM是集成大气机器人,预对准机以及缓存工位等部件的综合性产品,可以给客户提供晶圆传送的一体化方案。产品具有很强的适应性,以满足特定的应用需求。推动了国内半导体产业链的进步,有效的支撑了国内设备商的发展。满足半导体制造商的期望和要求。

参数:

Input信息

Wafer规格

材质尺寸

300mm wafer

Alignment Mark

Notch

厚度

标准wafer

温度

200

与传送片接触处的材质

陶瓷

片盒规格(类型、厂家、段数、段间距等)

Foup

AMHS(自动物料搬送系统)要求

OHT

搬送精度(Alignment精度)

±0.1mm

Particle Spec

ISO Class 1

Throughput

>100wfrs/h

Stage数(LP数)

4

Load Lock

Stage数(LL

4

位置(XYZ

四个LL

Wafer放置精度 X-Y

±0.1mm

Wafer放置角度精度

/

整机规格

参照尺寸说明

Foot Print

2575

750

2500

重量

1600KG

整机设计参照标准

SEMI S1-701;SEMI S2-1102;SEMI S7-96;SEMI S8-701;SEMI S9-1101;SEMI S10-1296;SEMI S13-298;SEMI E15-698;SEMI S11-1296;SEMI E54-997;SEMI E58-301;SEMI F47-400

软件界面设计参考标准

SEMI E30, E84


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