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真空机械手Titan1500C

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具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称沈阳新松机器人自动化股份有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地
  • 厂商性质生产厂家
  • 更新时间 2021-09-10
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      沈阳新松机器人自动化股份有限公司(以下简称“新松”)隶属*,是一家以机器人技术为核心,致力于数字化智能制造装备的高科技上市企业,是机器人产品线Z全的厂商之一,在沈阳、上海、杭州、青岛建有机器人产业园,在北京、深圳等城市设立多家控股子公司,在上海建有新松总部。新松现拥有1600余人的研发创新团队,形成以自主核心技术、核心零部件、产品及行业系统解决方案为一体的完整产业价值链,并将产业战略提升到涵盖产品全生命周期的数字化、智能化制造全过程。
 
       新松始终以超前的技术和*的软硬件综合实力,一直中国机器人产业发展。主导业务涵盖机器人核心零部件、系列机器人产品、行业系统解决方案、工业4.0等四大业务板块:新松机器人产品线包括工业机器人、移动机器人、洁净机器人、特种机器人和服务机器人五大类80余种机器人产品。其中,工业机器人产品性能达到同类产品技术水平;洁净机器人是国内的产品和解决方案供应商,*打破被日本、韩国、欧美国家等发达国家垄断的局面,大量替代进口;移动机器人占据国内汽车市场、电力*90%以上,产品批量出口国外;服务机器人成为公司新经济增长点。为了让用户能够享受到更便捷与更全面的智能化服务,通过创新的软硬一体化技术的整合应用,新松数字化工厂业已打造成为中国数字化工厂领域。公司的产品已出口23个发达国家及地区,三分之二以上客户为外资企业,创造了中国机器人应用*的新时代。

       面对新一轮竞争,新松已经开始实施 “四轮驱动”战略,从内涵式增长转向"内生 外延"式发展,在产业链的纵向布局和并购重组的横向扩张两方面同时发力。着力构建 "2+N+M"模式,在全国设立N个区域性公司,下面再建立不同的子公司,完善网络化市场服务格局。

       面向未来,公司以工业 4.0 和"中国制造 2025"为契机,继续完善产业布局,调整组织架构,强化创新能力,全面提升公司在智能制造领域的综合实力,为公司集团化发展提供强劲动力。作为中国较大的产业化基地,新松建立了大平台战略,即创新平台,产业平台,金融平台。集技术创新、资本、人才于一体,保持企业的可持续发展。公司将“智慧新松,无限价值”的核心理念为驱动,践行着“推动产业进步、保障国防安全、提升生活品质”的神圣使命。新松将一如既往地保持着创新的精神,不断以新的高品质产品服务于用户,推动中国机器人产业的发展。新松愿同社会各界共同携手,满怀科技报国的热情,不断实现着新的梦想。

工业机器人,洁净机器人,智能物流装备,,激光装备,智能服务型机器人,自动化装配检测生产线,节能环保装备
采用磁流体密封技术,网络化控制系统,具有*的防碰撞保护功能及动态纠偏功能,通过SEMI认证,MCBF大于1000万次,同时具备超高洁净度,耐高温、耐腐蚀,负载能力强等特点。满足个性化设计支持用户定制,负载、手臂长度可选,可为客户提供接口及末端定制服务。是大负载真空机械手的*之选。
真空机械手Titan1500C 产品信息

Titan1500C作为LED芯片制造领域的真空机械手产品,大负载真空机械手主要用于LED芯片制造过程中,实现装有大量LED晶圆的托盘在各个工艺腔室间的传送,具有真空度高,传输效率高,负载能力强,耐高温等特点,大大提高了LED芯片生产制造的良率和效率,是LED芯片制造装备的关键产品。本产品在集成电路制造用真空机械手的基础上,针对其大负载需求,创新了其传输结构和控制规律,使其能够达到12kg的负载能力,同时保持很小的占用体积,保持高耐真空度及洁净等级。

参数:

结构形式Mechanical Structure

柱坐标型/SCARA Cylindrical Coordinate/SCARA

驱动方式Driving method

伺服电机Servo Motor

手数量Number of Arm

单臂Single Arm

负载Payload

名称Name

托盘Tray

直径Diameter

Φ716mm

重量Weight

12kg

自由度数DOF

3

手臂长度Arm Length

355mm

手指长度(安装中心至硅片中心)

Finger length(distance from install center to wafer center)

810mm

运动范围

Moving Range

RR-axis

1500mm

θ轴θ-axis

无限回转Infinite Rotation

ZZ-axis

150mm

全行程最小时间

Swap time

RR-axis

27.8sHome to Extend 1500mm

θ轴θ-axis

15s(180°)

ZZ-axis

13s150mm

重复定位精度Repeatability

RR-axis

±0.2mm(3σ)

θ轴θ-axis

±0.2mm(3σ)

ZZ-axis

±0.2mm(3σ)

最小回转半径Robot Clearance Radius

762.5mm

下垂量Deflection

5mm

真空度 Vacuum level

5×10-9 Torr

漏率Leak Rate

1×10-9 std.cc/sec He

电源Electrical

208VAC(50Hz/60Hz)

电源范围 电压波动范围

单相交流208V +10%-15%

通信接口Communication Network

Ethernet

重量Drive body+arm set weight

195kg

行程

1500mm


关键词:机械手

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