| B.主要技术指标：
1、测量原理：触针法，差动电感传感器;
2、测量范围：位移的量程:4,20,100,500μm;
Ra的量程:0.2,1,10,50μm;
3、示值误差：≤±5%;
4、最小分辨力：0.001μm
5、取样长度：0.25,0.8,2.5mm;
6、评定长度：N倍取样长度，N=1，2，3，4，5;
7、数字滤波相位校正、不滤波;
8、测量参数：Ra,Ry,Rp,Rv,Rz,Rt,Rq,Rpm,Rvm,Rtm,R3z,R3y,λa,λq,△a,△q,Sm,S,Sk,Rku,Hsc,Pc,tp;
9、轮廓图形：直接轮廓、滤波轮廓、tp曲线，幅度分布曲线;
10、轮廓图形的垂直放大倍率： 10，100，200，500，1000，2000，5000，10000，20000，50000，100000，200000；
11、轮廓图形的水平放大倍率：2，5，10，20，30，40，50，100，200，500，1000，2000，5000，10000；
12、驱动箱滑行长度：40mm;
13、驱动箱滑行速度：1mm/s;
14、传感器返回形式：手动；
15、传感器测针：金刚石圆锥，锥角90°，针尖半径2μm;
16、立柱结构：手动升降;
17、立柱垂直测量高度：300mm;
18、工作底台：400mm×600mm 大理石平台。 |
