| B.主要技术指标：
1、测量原理：触针法，差动电感传感器;
2、垂直测量范围：4/40/400μm;
3、示值误差：≤±5%;
4、最小分辨力：0.001μm
5、取样长度：0.08,0.25,0.8,2.5,8mm;
6、评定长度：N倍取样长度，N=1，2，3，4，5;
7、数字滤波相位校正、不滤波、高斯；
8、粗糙度测量参数：Ra,Rc,Rp,Rv,Rz,Rq,Rsm,Rt,Rsk,Rku,Rdq（符合GB/T 3505-2000定义）;
9、图像分析功能：轮廓曲线-NR，轮廓曲线-支承率，支承率-图表等;
10、直接轮廓测量系统的测量参数：Pa,Pc,Pp,Pv,Pz,Pq,Psm,Pt,Psk,Pku,Pdq（符合GB/T 3505-2000定义）; 11、直线度测量系统的测量参数：Pt,Pp,Pv,|X2--X1|,|Y2-Y1|；
12、轮廓图形的垂直放大倍率：10，100，200，500，1000，2000，5000，10000，20000，50000，100000，200000；
13、轮廓图形的水平放大倍率：2，5，10，20，50，100，200，500，1000，2000，5000；
14、驱动箱滑行长度：100mm;
15、驱动箱滑行速度：0.1,0.2,0.5,0.8,1mm/s
16、传感器返回形式：手动，自动；
17、基准导轨的直线性：1μm/100mm；
18、传感器测针：金刚石圆锥，锥角90°，针尖半径2μm;
19、立柱结构：滚动丝杠升降系统，快慢速机动升降，自动对准零位;
20、立柱上升高度：480mm;
21、工作底台：450mm×600mm 大理石平台。 |
