倾斜波干涉仪(MarOpto TWI 60)是一种新型且高度灵活的干涉仪,用于非球面的快速高精度测量。
第二张图片显示了在A5演示器非球面上测得的表面偏差(自由孔径50 mm,拟合半径40.8 mm,与拟合球的偏差600 µm,梯度偏差8°)。
横向分辨率约为 30微米 在大约30秒的数据采集时间内,非球面的整个表面以较高的横向分辨率和较低的测量不确定度进行测量。重要的是,既不需要CGH(计算机生成的全息图),也不需要拼接。
- 不使用CGH的非球面镜片的灵活干涉测量
- 无需缝合即可进行测量
- 数据采集??时间短,大约30 s
- 光束直径100毫米
- 与合适的球体相比允许的非球面偏差约为1.5 mm
价格面议或电联