加工元件表面粗糙度可达纳米级,口径大可达到350mm,可加工各种高精度平面、球面、非球面及离轴元件和自由曲面元件。可加工铜、铝、单晶锗、硒化锌、树脂、PMMA等材料。在三轴联动模式下还可加工离轴元件、柱面、子午面等非回转对称元件和自由曲面,配以特殊*可以实现微结构元件的加工,如各种衍射元件和菲涅尔透镜等。
海普超精自主研制的超精密模具DJC-350A超精密单点金刚石可加工:
1、可加工各种平面、球面、非球面,还可加工离轴元件、柱面、子午面等非回转对称元件和自由曲面
2、可实现衍射元件和菲涅尔透镜等微结构元件的加工
3、可加工铜、铝、单晶锗、硒化锌、树脂、PMMA等材料
4、工件口径可达到350mm,工件表面粗糙度Ra<3nm,面型精度PV值<0.2μm
设备精度:
Z轴(沿主轴)
1.大行程: 350mm
2.直线度:0.2μm/100mm
3.定位精度 :0.5μm±0.5μm×Lmm/100mm
4.重复定位精度: 0.3μm
5.分辨率:1nm
6.大进给速度: 20mm/s
X轴(垂直于主轴)
1.大行程: 350mm
2.直线度: 0.2μm/100mm
3.定位精度: 0.5μm±0.5μm×Lmm/100mm
4.重复定位精度: 0.3μm
5.分辨率:1nm
6.大进给速度: 20mm/s
C轴(工件轴)
1.径跳和端跳 : 0.05μm
2.C轴转速:0-1000rpm; 主轴转速: 0-4000rpm
3.转角定位精度: 30″
4.转角重复性定位精度:10″
设备使用环境:
1.要求隔震地基,设备在温度:20±2℃,一天内温度梯度小于2℃。湿度:<50%的环境下使用。
2.空气过滤精度:0.5um。除油、除水。
3.空气压力:≥0.6MPa。
4.空气流量: ≥0.3m³/min。
5.电源:380V,设备功率:≤5KW。