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激光干涉仪配置选型注意事项

2021-04-15来源:网络作者:网络标签:激光干涉仪

  激光干涉仪配置选型注意事项
 
  激光干涉仪,以激光波长为已知长度,利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。
 
  激光具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。目前常用来测量长度的干涉仪,主要是以迈克尔逊干涉仪为主,并以稳频氦氖激光为光源,构成一个具有干涉作用的测量系统。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作,并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。
 
  激光干涉仪资讯信息平台,激光干涉仪配置选型注意事项:
 
  平面度测量配置需求:平面度镜组+角度镜组
 
  平行度测量配置需求:依据轴向量程范围,选择相应直线度镜组即可
 
  短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求:短直线度镜组+垂直度镜组
 
  长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求:长直线度镜组+垂直度镜组
 
  直线度附件:主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量
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