环境因素对激光干涉仪的影响

　　环境因素对激光干涉仪的影响

 

　　激光干涉仪，以激光波长为已知长度，利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。

 

　　1.影响因素下面所列任何一种环境参数的变化都会导致大约1μm的误差：

 

　　(1)空气温度：1℃(2)空气压力：0.3kPa(3)相对湿度：30%特别是振动对测量的影响是非常大的，振动可能导致测量数据的分散，明显影响重复性的测量。甚至可能使测量无法正常进行下去。

 

　　2.减少及消除的方法

 

　　(1)测量尽量在恒温车间进行，以保持环境温度的相对稳定。

 

　　(2)在环境参数偏离标准条件时，可使用EC10环境补偿单元对温度、压力、湿度进行自动补偿，可使上述(温度、压力、湿度)误差减少到±1.1μm。

 

　　(3)尽量关掉车间的照明灯和机床上的工作灯，以减少热源。

 

　　(4)在夏季，为了减少激光器的发热，可用电风扇对其进行散热和降温，以延长激光器的使用时间。

 

　　(5)在测量时，应尽量避免车间各种振动的产生，如机床、行车等。在必要时，可在下班或晚上比较安静的环境下测量。同时，应将反射镜和干涉镜分别安装在刀具/中滑板位置和床身位置上，激光器安装在尽量靠近机床的位置，使用尽可能短的加长安装附件来固定光学元件，以减少机床振动产生的影响。