激光干涉仪校准步骤

　　激光干涉仪校准步骤

 

　　激光干涉仪具有实现线性、角度、直线度、垂直度、回转轴等几何量的检测功能。可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备运动导轨的线性定位精度、重复定位精度等;同时也能检测运动导轨的俯仰角、扭摆角、直线度和垂直度;并可以校准机床的回转轴。

 

　　激光干涉仪校准步骤：先近后远，近调上下左右，远调俯仰扭摆。

 

　　1、架设好激光头后。

 

　　先将激光头的左右、俯仰、扭摆居中，再将激光干涉仪激光头调至水平，在激光头上安装好标准光闸。

 

　　2、将线性干涉镜和测量反射镜置于较近位置。

 

　　调节激光干涉仪干涉镜与反射镜之间的相对位置，使反射回来的两束光线完全重合，调节三角架使重合后的反射光线进入回光孔，保证五个光强指示灯全亮。此处请勿大范围调节激光干涉仪激光头上的俯仰和扭摆旋钮，仅限微调。

 

　　3、将线性干涉镜与测量反射镜距离最远。

 

　　根据近、远端光线照射的位置，可判断出激光头发出光线的倾斜方向，扭摆三角架使激光头向倾斜方向的相反方向扭摆，再平移三角架使激光大致照射在干涉镜正中偏上1/2处。查看光闸，若无两束光线返回，则继续扭摆和移动三角架，直至两光点出现，并使两光点相距较近。

 

　　4、微调俯仰、扭摆，使两束反射光线完全重合。

 

　　5、通过升降三角架和调节激光干涉仪激光头的左右位置。

 

　　使重合后的反射光束射入回光孔。

 

　　6、查看五个光强指示灯是否全亮。

 

　　若无，请重复，直至近、远两端位置，五个光强指示灯全亮。

 

　　7、激光干涉仪安放补偿元件，进行线性测量。