激光干涉仪的测量精度与哪些因素有关?

　　激光干涉仪的测量精度与哪些因素有关?

 

　　激光干涉仪，以激光波长为已知长度，利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。

 

　　激光干涉仪在实际使用中，需要确认其在各个测量应用中能够达到的真实精度水平以确保测量数据准确可靠。激光干涉仪的测量读数Z终均与激光波长有关，因此激光器频率的准确性和稳定性是激光干涉仪测量精度的保障。此外，激光干涉仪的环境条件补偿系统(压力、温湿度传感器)的读数准确性对Z终的测量精度有着重要的影响。

 

　　总结起来，影响激光干涉仪测量精度的因素包括：①激光器频率(波长)及频率稳定性;②测量读数软件系统带来的误差;③反射镜、角锥棱角误差;④温湿度、压力传感器误差;当然，在具体测量任务中的测量精度还与测量人员、现场环境条件等因素有关。

 

　　主要特点

 

　　1.同时测量线性定位误差、直线度误差（双轴）、偏摆角、俯仰角和滚动角

 

　　2.设计用于安装在机床主轴上的5D/6D传感器

 

　　3.可选的无线遥控传感器最长的控制距离可到25米

 

　　4.可测量速度、加速度、振动等参数，并评估机床动态特性

 

　　5.全套系统重量仅15公斤，设计紧凑、体积小，测量机床时不需三角架

 

　　6.集成干涉镜与激光器于一体，简化了调整步骤，减少了调整时间

 

　　7、激光干涉仪可以同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角等，以及测量速度、加速度、振动等参数，并评估机床动态特性等。

 

　　8、激光干涉仪的光源——激光，具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。

 

　　9、激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来使用。