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激光干涉仪日常维护

2021-01-21来源:网络作者:网络标签:激光干涉仪

  
 
  激光干涉仪日常维护
 
  激光干涉仪,以激光波长为已知长度,利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。
 
  激光干涉仪日常维护
 
  1、仪器应妥善地放在干燥、清洁的房间内,防止振动,仪器搬动时,应托住底座,以防导轨变形。
 
  2、光学零件不用时,应存放在清洁的干燥盆内,以防止发霉。反光镜、分光镜一般不允许擦拭,必要擦拭时,须先用备件毛刷小心掸去灰尘,再用脱脂清洁棉花球滴上酒精和乙醚混合液轻拭。
 
  3、传动部件应有良好的润滑。特别是导轨、丝杆、螺母与轴孔部分,应用T5精密仪表油润滑。
 
  4、使用时,各调整部位用力要适当,不要强旋、硬扳。
 
  5、导轨面丝杆应防止划伤、锈蚀,用毕后,仍保持不失油状态。
 
  6、经过精密调整的仪器部件上的螺丝,都涂有红漆,不要擅自转动。
 
  激光干涉仪主要特点
 
  1.同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角
 
  2.设计用于安装在机床主轴上的5D/6D传感器
 
  3.可选的无线遥控传感器最长的控制距离可到25米
 
  4.可测量速度、加速度、振动等参数,并评估机床动态特性
 
  5.全套系统重量仅15公斤,设计紧凑、体积小,测量机床时不需三角架
 
  6.集成干涉镜与激光器于一体,简化了调整步骤,减少了调整时间
 
  7、激光干涉仪可以同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角等,以及测量速度、加速度、振动等参数,并评估机床动态特性等。
 
  8、激光干涉仪的光源——激光,具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。
 
  9、激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来使用。
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