激光干涉仪校光方法

　　激光干涉仪校光方法

 

　　激光干涉仪，以激光波长为已知长度，利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。

 

　　激光具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。目前常用来测量长度的干涉仪，主要是以迈克尔逊干涉仪为主，并以稳频氦氖激光为光源，构成一个具有干涉作用的测量系统。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。

 

　　操作方法

 

　　(1)光路粗调

 

　　用坐标尺替代反光镜，将坐标尺置于行程远端，用水平仪调平，粗调激光头和转向镜安装支架，使入射光经转向镜后落在坐标尺的范围内。

 

　　(2)测量偏差量d3

 

　　调整X、Y轴使光线落在坐标尺的中心位置，然后向下移动Z轴一定距离d4(移动距离以便于计算和便于坐标尺读数为原则)，然后观察光线在坐标尺面上的落点，读取坐标位置。

 

　　(3)计算理论偏差量d1

 

　　根据式(1)可以求得坐标尺在原位置时的光线理论偏差量。

 

　　(4)光路精调

 

　　将Z轴返回原位置，根据计算出的d1，调整转向镜头背部调整螺钉，使光线落点沿原偏差方向移动d1距离，即达到理论落点，至此光路与Z轴已达到平行。

 

　　(5)安装反光镜

 

　　完成以上步骤后安装上反光镜，用水平仪调平，然后移动X、Y轴至激光点打在要求落点即可。