激光干涉仪故障检修

　　激光干涉仪故障检修

 

　　激光干涉仪，以激光波长为已知长度，利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。

 

　　激光具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。目前常用来测量长度的干涉仪，主要是以迈克尔逊干涉仪为主，并以稳频氦氖激光为光源，构成一个具有干涉作用的测量系统。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。

 

　　激光干涉仪故障检修

 

　　1、干涉环不圆正

 

　　原因：

 

　　（1）分光板膜层面反向。

 

　　（2）两组出射光瞳错位。

 

　　（3）分光板、补偿板、移动镜及参考镜有压应力。

 

　　检修方法：分光板膜层应是入射光的第二面，如装在第一面，则调出的等倾干圆涉环是直的椭圆形干涉环，可旋松分光板的三只宽头螺钉，取出分光板，反过180°重新装入金属框内，把三只宽头螺钉旋到原来的压紧力。分光板调整请参考故障检修方法。分光板，补偿板的宽头螺钉，移动镜及参考镜的调节滚花螺钉压紧力过大，使各镜片逐步变形产生等倾干涉圆环不规则，适当放松过紧的螺钉即可消除。

 

　　2、转动微动手轮时拖板不走。

 

　　原因：

 

　　（1）传动小齿轮压紧螺母松，使盆形弹簧片无压紧力，造成蜗轮空转。

 

　　（2）粗微动有脱开机构的干涉仪，蜗杆压紧弹簧片失灵。

 

　　（3）微动手轮压紧螺母松。

 

　　检修方法：先检查微动手轮的压紧螺母。然后打开传动盒盖，取下门字架，旋紧传动小齿轮压紧螺母，使盆形弹簧片压紧蜗轮，此时转动蜗轮应带动精密丝杆，依次装好拆下的另件。如果是脱开机构，应检查蜗杆拖板是否已被压死。如被压死，可拆下左右压块，清洗、上油（7101油脂）重新装配即可，如蜗杆拖板较松，说明蜗杆拖板的弹簧压力减小，（1）可拆下弹簧改小R增加弹性。（2）调换弹簧片。