激光干涉仪的用途

　　激光干涉仪的用途

 

　　激光干涉仪，以激光波长为已知长度，利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。

 

　　激光具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。目前常用来测量长度的干涉仪，主要是以迈克尔逊干涉仪为主，并以稳频氦氖激光为光源，构成一个具有干涉作用的测量系统。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。

 

　　激光干涉仪的用途。

 

　　激光干涉仪结合了不同的光学镜组，可实现几何参数的高精度测量，如线性长度，角度，直线度，垂直度，平行度和平直度的测量。

 

　　通过动态测量软件的组合，激光干涉仪可以动态测量和检测线性位移，角度和直线性能，以及位移，速度，加速度，振幅和频率的动态分析。

 

　　激光干涉仪的工作原理

 

　　激光干涉仪发射单频光束。光束撞击线性干涉仪并在镜子中分成两束光束。然后，两束光线被反射回分束器，*后再次会聚到激光干涉仪。如果光程差不改变，激光干涉仪将在两极之间找到建设性和相消干涉的稳定信号。如果光程差改变，则计算这些变化并用于测量两个光路之间的差异。

 

　　主要特点

 

　　1.同时测量线性定位误差、直线度误差（双轴）、偏摆角、俯仰角和滚动角

 

　　2.设计用于安装在机床主轴上的5D/6D传感器

 

　　3.可选的无线遥控传感器最长的控制距离可到25米

 

　　4.可测量速度、加速度、振动等参数，并评估机床动态特性

 

　　5.全套系统重量仅15公斤，设计紧凑、体积小，测量机床时不需三角架

 

　　6.集成干涉镜与激光器于一体，简化了调整步骤，减少了调整时间