激光干涉仪在如下几个领域的应用情况

　　激光干涉仪，以激光波长为已知长度，利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。

 

　　激光干涉仪在如下几个领域的应用情况

 

　　1.位移传感器

 

　　激光干涉仪在位移传感器检定中的应用已成为一大发展趋势，其特点是测量精度快、反应速度快、易于数字化测量。在测量中设计一个精密导轨，将反射镜同被测传感器放在一起同步检测，从而形成对比，位移传感器自动检定系统与HP干涉仪对定位移进行测试对比，得出往复测试实验结果。

 

　　2.数控机床检定中的应用

 

　　随着数控机床应用的普及，采用激光干涉仪对数控机床进行定位精度检测已经成为目前公认的高效、高精度的检测方法。激光干涉仪可用于精密机床、大规模集成电路加工设备等在线位置测量、误差修正和控制，其中双频激光干涉仪应用最多。与传统的检定方法相比，激光干涉仪具有较高的精度和效率，并能及时处理数据，为机床误差修正提供依据，位置精度是机床的重要指标，目前各国机床检定标准中都推荐使用激光干涉仪。双频激光干涉仪在机床中的应用是其它传统测量手段难以实现和替代的。

 

　　未来，激光干涉仪可从光源、探测器、信号处理系统、光学系统等方面进行发展，从测量数据的可靠性、精确性，以及测量仪器的便携性等，不断改善激光干涉仪的各项性能。

 

　　美国自动精密工程公司API XD激光干涉仪为机床校准带来前所未有的高效率，全新系统设计能满足顾客更高的要求，这款产品，可以测量线性、直线度、俯仰角、偏摆角、滚动角，可在两小时内就能检测出一台三轴机床的所有几何误差，具有同类产品无法比拟的高效性、高便携性及多功能的特点。