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激光干涉仪调光步骤及技巧

2020-12-22来源:网络作者:网络标签:激光干涉仪

  激光干涉仪调光步骤及技巧
 
  一、线性测量
 
  光学组件:分光镜一只,反射镜两只。
 
  测量原理:线性位置精度(或速度)的测量必须具有一个光学元件相对于另一个光学元件间的相对运动。线性位置精度(或速度)通过XL80激光头的干涉条纹计数电路来确定两个光学元件间的距离变化(或距离变化速率),并与被测机器的光栅读数尺相比较来确定精度误差。
 
  光学器件安装:
 
  1、水平轴测量光学器件的安装布局。(干涉镜或者反射镜移动,反射镜作移动光学元件的测量范围是40m,干涉镜作移动光学元件的测量范围是15m。)
 
  2、垂直轴测量光学器件的安装布局。(反射镜移动)
 
  线性测量光路校准步骤:先近后远,近调上下左右,远调俯仰扭摆。
 
  1、架设好激光头后,先将激光头的左右、俯仰、扭摆居中,再将激光头调至水平,在激光头上安装好标准光闸。
 
  2、将线性干涉镜和测量反射镜置于较近位置,调节干涉镜与反射镜之间的相对位置,使反射回来的两束光线完全重合,调节三角架使重合后的反射光线进入回光孔,保证五个光强指示灯全亮。此处请勿大范围调节激光头上的俯仰和扭摆旋钮,仅限微调。
 
  3、将线性干涉镜与测量反射镜距离最远,根据近、远端光线照射的位置,可判断出激光头发出光线的倾斜方向,扭摆三角架使激光头向倾斜方向的相反方向扭摆,再平移三角架使激光大致照射在干涉镜正中偏上1/2处。查看光闸,若无两束光线返回,则继续扭摆和移动三角架,直至两光点出现,并使两光点相距较近。
 
  4、微调俯仰、扭摆,使两束反射光线完全重合。
 
  5、通过升降三角架和调节激光头的左右位置,使重合后的反射光束射入回光孔。
 
  6、查看五个光强指示灯是否全亮,若无,请重复步骤2~5,直至近、远两端位置,五个光强指示灯全亮。
 
  7、安放补偿元件,进行线性测量。
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