1.反向越冲

反向越冲的产生，是由于当机床某一个轴向某一方向驱动，然后必须向相反方向反向移动时，该轴驱动电机施加的扭矩不够，造成在换向处由于摩擦力的方向发生改变而出现短时的粘性停顿。反向越冲将使圆弧插补刀具轨迹出现一个小平台后再向原轨迹复位的台阶。在图形上表现为：在某轴上有一小尖峰，尖峰大小随机床进给率的不同而变化。

2.反向间隙

当机床某一轴出现丝杠磨损、螺母损坏或导轨磨损等情况时，会导致滚珠丝杠中扭曲过大而引起反向间隙。反向间隙在球杆仪检测图形中表现为：在沿某轴线处有沿图形中心外凸(正值)或内凹(负值)的一个或数个台阶，其大小通常不受机床进给率的影响。

3.伺服不匹配

如果用球杆仪检测圆度误差时诊断出伺服不匹配，表明机床的一根轴超前于另一轴。根据不同被测轴间的关系，伺服不匹配可能为正，也可能为负。以XY平面为例，若为正值,则说明Y轴超前于X轴,为负值则相反。超前轴的增益较高。

4.比例不匹配

比例不匹配误差是指在测试中被测量轴间的行程差，例如，机床在XY平面内运行一个圆周，理论上X轴和Y轴运行的距离应*相同。如果有不同，两轴间运动位置差就是比例不匹配误差。如果给出比例不匹配的值为正值，那么X轴移动距离超过Y轴。否则相反。

5.垂直度

垂直度误差是因为被测试机床的X轴和Y轴相互间不为90度，两轴可能有局部弯曲或机床轴可能整体未调直、机床轴可能刚性不够导致某些部位不直、或者机床导轨可能过分磨损导致机床在运动时轴中有一定间隙。