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| 产地 | 国产 |
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碳化硅毛坯籽晶带球面晶锭晶棒厂家
作为碳化硅坯料生产厂商，恒迈瑞为客户提供4英寸6英寸碳化硅毛坯籽晶带球面晶锭晶棒，用于测试弧度球面的面形和缺陷，同时测试碳化硅Si面缺陷。导电型碳化硅坯料厚度约10-20mm，未经过头尾切片，研磨抛光等工序。
高质量碳化硅晶锭切片成翘曲小、厚度均匀，否则会给后续的研磨和抛光带来很大的困难。一般采用金刚石线锯将碳化硅切成晶圆，总厚度变化（TTV）小于30 μm，翘曲度（Warp）小于20 μm。
研磨是规模化生产中加工碳化硅衬底的第二步。碳化硅断裂韧性低，研磨难度大，对开裂非常敏感。研磨过程需要涉及到转速、压力、砂粒大小、磨料密度等诸多参数。因此，研磨过程需要严格选择操作参数以大限度地提高磨削率，同时控制表面完整性。
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