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杨婷
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目录:上海信良志商业有限公司>>仪器测量设备>>非破坏检测系统>> SU-021晶体方位测量装置
| 产地 | 进口 | 类型 | 其他X射线仪器 |
|---|---|---|---|
| 售后保修期 | 12个月 | 销售区域 | 全国 |
晶体方位测量装置的特点：
1.实现角度测量的高精度化
根据独自的测角系统，实现高再现性和线性。
2.长期稳定性能
机构部具有很高的刚性和耐久性，能够长期维持稳定的性能。
3.采用X射线档案峰值检测功能
根据统计处理技术，采用X射线档案峰值检测方式，可获得高精度稳定的角度测量性能。
4.高速、高精度测量
不仅有4方位测量功能，还有2方位测量功能，测量时间只需要4方位测量的1/2。(不包括SU-001)
方位测量是用球面几何学精确求解结晶方位的X,Y倾斜度。为此以和4方位测定相同的精度求出。
5.X射线剂量测定系统
X射线量测定系统通过脉冲海分析仪降低散射等误差原因，筛选出Cu的特性X射线，可进行高精度的测定。
6.采用高灵敏度检测器(可支持偏移角大的结晶)
检测器对应检测的X射线(Cu的K α)具有高灵敏度。另外，由于是气体检测器，所以对X射线的入射位置和方向的检测灵敏度的变动很小，对于结晶面的倾斜角的变化可以进行稳定的测量。
晶体方位测量装置的参数：
| 型式 | 対象 | 測定項目 | 用途 |
|---|---|---|---|
| SU-001 | インゴット | Vノッチ（オリフラ面）方位 | Vノッチ加工用円筒研削機に本装置を取り付けて、Vノッチ方位を決定します。 ・測定精度：±5′ ・対象ワークサイズ：2～18インチ |
| SU-002 | インゴット | カット面方位（軸方位） | ウェハ加工前インゴットの軸方位を測定します。 ・測定精度：±30″ ・対象ワークサイズ：2～18インチ |
| SU-003 | ウェハ | Vノッチ（オリフラ面）方位 | カット面方位（軸方位）・ウェハのカット面方位およびVノッチ方位と所定の結晶面との傾きを測定し、基準値と比較して良否判定をします。 ・測定精度：±30″（カット面) ・対象ワークサイズ：2～18インチ |
| SU-005 | インゴット | Vノッチ（オリフラ面）方位、外観、形状、重量 | Vノッチ加工後のインゴットについて、Vノッチの形状・深さ・結晶方位、さらに、インゴットの欠け、傷、切削残、直径、重量を測定します。 測定精度：±5′ |
| SU-021 | インゴット | Vノッチ（オリフラ面）方位 | カット面方位（軸方位）ウェハ加工前インゴットの軸方位とVノッチの結晶方位を同時に測定します。（側面の測定のみで軸方位を求めます。特許第3805869号） ・測定精度：±5′（カット面） ±3′（Ｖノッチ方位） |
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