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半导体・太阳能电池・LED・功率半导体制造装置(线切机)

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  • 型号 TWP-500DL
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  • 厂商性质 生产商
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更新时间:2021-09-29 15:36:41浏览次数:477

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产品简介

半导体・太阳能电池・LED・功率半导体制造装置(线切机)

详细介绍

对应太阳能晶片。使用金刚线和切线网,满足高精度、高成品率及高生产效率的线切机。

TWP-500DL是以配合使用金刚线加工而开发的线切机。为限度发挥出金刚线磨粒的加工特长,在设备各处使用了本公司独自的技术。设备规格可将 □156mm×L500mm的硅晶棒上下2段排列,并一次切割2根晶棒。上下左右配置4根导线轴,将1条钢线分为上下两段用, 且各自独立的绕线加工网。为防止钢线在走线时出现扭曲和斜行走线,配置了绕线轴和滑轮。同时还搭载了大功率电机等。本设备与以往的线切机相比,实现了2倍以上的高生产效率。即使在进行每分1mm的高速切割时,也可确保TTV10μm以下的高精度,且达到98%以上的高成品率。

主要规格

TWP-500DL
安装尺寸 (正面宽×纵深×高)mm1,860×4,200×2,590
晶棒尺寸mmφ156
钢线导向轴数4
晶棒长度mm500×2 (上下2段)
走线速度m/分1,500

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