PIS 探針卡檢測及調針系統

* 機台簡介

(1) 源台精密科技多年來擁有垂直整合光學、機構、電控和硬體之能力，一直是台灣最專業的影像量測儀器製造商，是各產業領域客戶品質提升的夥伴

(2) 半導體產業中對於探針卡(Probe Card)的製造與驗證均需依賴歐美的進口儀器，不僅僅是採購成本價格昂貴、功能設限於原廠制定、售後服務無法即時到位或產生服務斷層等情況

(3) 源台精密將多年自動影像量測開發經驗結合實體顯微系統後成功開發單機台、雙功能 之探針卡光學檢測系統 PIS 系列

(4) 源台精密於2014首度開發上述 單機台、雙功能之PIS-3020並連續榮獲 2015台灣精品獎、2016 台灣中小企業創新研究獎 獎項及中華民國及中國兩項產品專利

(5) 檢測及調針作業流程

(6) 探針卡檢測種類

a. 垂直針

b. 懸臂針

c. 針

d. 其他針種

(7) 探針卡檢測項目

a. 針尖(質量中心)位置

b. 針尖偏移 (可比對標準座標資料)

c. 針尖歪斜

d. 針尖共面性

e. 針高度 (單點、特定點)

f.  針盤水平面 (盤面特定點自動量測)

g. 針形判定 (縮針、針磨耗)

h. 建立針卡圖檔 (excel座標圖)

(8) 實體顯微鏡調針

a. 輸入公差可列舉針尖偏移NG針

b. 影像區可檢視NG針狀況

c. 提供綠色框(資料座標)比對紅色框(實際針位)

d. 可自動移動至調針位置

e. 視野內即是需要調針的針卡位置

f. 方便辨識正確位置