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省空间且提高了维护性的工艺气体供给系统。从设计到制作均可根据客户需要的流程进行。1.5inch、采用W密封。行业半导体制造工序（前工序）化学气体供给设备用元件
省空间且提高了维护性的工艺气体供给系统。从设计到制作均可根据客户需要的流程进行。1.125inch、采用W密封。行业半导体制造工序（前工序）化学气体供给设备用元...
【停产产品】代替产品：IAVB系列通过马达驱动调整阀的开度，实现了多种导率的电动真空阀。行业半导体制造工序（前工序）半导体制造工序（后工序）
手柄旋转式高真空用手动阀。备有铝阀体型和SUS阀体型。行业半导体制造工序（前工序）半导体制造工序（后工序）
结构特殊，采用CKD的成型波纹管，实现了长寿命、高耐久性。可靠性高且方便易用的高真空阀。行业半导体制造工序（前工序）半导体制造工序（后工序）
既保持了高真空阀原本的可靠性，还能进行可实现多种工艺的压力控制。行业半导体制造工序（前工序）半导体制造工序（后工序）
采用金属膜片的工艺气体用减压阀。为气体压力、流量的稳定化作出贡献。行业化学气体供给设备用元件氮气清洗关联元件
手动式金属隔膜阀。270°旋转方式的手柄开闭型。行业化学液体供给设备用元件化学气体供给设备用元件半导体制造工序（前工序）氮气清洗关联元件
90°旋转快动方式的手动阀。行业化学气体供给设备用元件化学液体供给设备用元件半导体制造工序（前工序）氮气清洗关联元件
符合微细化发展的需求，具备高耐久性的工艺气体用阀。按照客户需求备有3种类型。行业化学液体供给设备用元件化学气体供给设备用元件半导体制造工序（前工序）氮气清洗关联...
采用金属膜片的工艺气体用阀的核心产品。除单体、集成型外，还备有3通阀、2连3通阀等种类丰富的产品。行业化学气体供给设备用元件化学液体供给设备用元件半导体制造工序...
采用金属膜片的工艺气体用阀新品种。已作为采用锻造阀体的通用型产品发布。备有气控型、手动型。行业化学气体供给设备用元件化学液体供给设备用元件半导体制造工序（前工序...
可调节微小流量的手动式流量调节阀。行业
手动式流量调节阀(针阀)。行业半导体制造工序（前工序）
电动式流量调节阀(针阀)。可通过远程操作变更设定流量行业半导体制造工序（前工序）
高精度检测纯水、酸、碱、溶剂等多种流体的液位，以电信号的形式输出。行业半导体制造工序（前工序）
用于纯水等的压力控制的手动式减压阀。行业半导体制造工序（前工序）
可通过先导空气控制，使化学液体、纯水供给部位的压力变化趋于稳定的减压阀。与电空减压阀组合，可通过远程操作变更设定压力。行业半导体制造工序（前工序）
以紧凑的结构确保滴液，可高精度控制回吸。可防止化学液体在晶圆上喷吐不良等现象。可根据流体粘度优化定制设计。气控阀一体型产品，可削减配管工时并实现紧凑化。行业半导...
以紧凑的结构确保滴液，可高精度控制回吸。可防止化学液体在晶圆上喷吐不良等现象。可根据流体粘度优化定制设计。行业
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