实用新型中烟管内流动的烟气不会直接接触到软连接材料上，降低了对材料的腐蚀。由于烟管中的负压作用，烟气中的粉尘只会溢出极少部分，并掉在下风罩上，而下风罩设置的角度足够大，灰尘不会堆积在上面。因此同现有技术相比，本实用新本产品由尼龙布，绝缘卷材，橡胶附和布，防油布，防水布，阻燃布、耐酸碱布等多种材质可供客户不同需求来量身定做。方形通风软连接，耐高温软连接，耐高温通风软连接，具有防火，排烟，消声隔振等功能，能应用在建筑排烟系统的软接及变径接口上，是理想的建筑排烟用料。它的特点高温性能好，工作压力大，气体流速可达20米/秒，使用寿命长，耐酸，碱，油，防腐蚀，耐潮，体积轻，安装方便。

 

*光电技术研究所邢廷文课题组在高数值孔径物镜波像差测量技术的研究中取得进展：提出了一种基于二维衍射光栅的高数值孔径物镜波像差测量方法，指出了高数值孔径物镜波像差测量时涉及的几个特殊问题和解决方法。该方法还可以应用于短波(如深紫外(DUV)、极紫外(EUV)、X射线等)光学系统的波像差测量。
　　波像差是评价光刻投影物镜性能的一个重要指标，直接影响光刻机整机的分辨率、临界尺寸、成像对比度和工艺窗口等。光刻投影物镜具有数值孔径大、工作距离短、波像差极小等特点，45 nm节点光刻投影物镜要求实现亚纳米量级精度波像差测量。这类高精度测量的难点在于高精度相位测量方法的研究、关键器件的制备、测量环境影响的控制以及系统误差的高精度标定。