激光干涉仪器设备

中图仪器SJ6000激光干涉仪器设备采用双频氦氖激光器作为光源。其精度高，抗扰力强，空气湍流、热波动等影响甚微，因此降低了对环境条件的要求，不仅能用于实验室，还可在车间条件下测量大距离用。具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点。

技术参数

产品型号：SJ6000
产品名称：SJ6000激光干涉仪
稳频方式：双频激光热稳频
稳频精度：0.05ppm
线性测量精度：0.5ppm（0-40）℃
线性测量距离：（0-80）m（无需远距离线性附件）
角度测量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m
测量分辨力：1nm
动态采集频率：50KHz
预热时间：≤6分钟
工作温度范围：（0-40）℃
环境温度范围：（0-40）℃，环境湿度：0-95%
主要特点：应用范围广、测量精度高、操作方便
生产企业：深圳市中图仪器股份有限公司
注释：更多详细产品信息，请联系我们获取

产品功能

• 可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；

• 可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；

• 可实现对机床回转轴的测量与校准；

• 可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；

• 具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；

• 支持手动或自动进行环境补偿。

中图仪器以实现高精密仪器自主化为己任，SJ6000激光干涉仪器设备以干涉技术为核心，其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗扰力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热影响，保证干涉光路稳定可靠。